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【Now新聞台】市傳內地已開始生產自主研發的晶片製造主力設備。
據科技新聞網站《The Information》報道，一家具上海國資背景企業，已開始生產自主研發的浸沒式深紫外光DUV光刻機，該公司計劃今年生產約5部DUV光刻機，明年則增至約20部，並向中芯國際、華虹宏力及長鑫存儲等內地晶片製造商交付。
這種關鍵晶片製造設備，一直由荷蘭晶片設備製造商ASML供應，DUV光刻機一般被稱為半導體行業的主力設備，技術上不及ASML更先進的極紫外EUV光刻機。
此外，ASML被禁止向中國出口EUV光刻機，而集團向中國出售最先進的DUV光刻機亦受限制。
報道又指，中國亦正研發國產EUV光刻機，但現時仍處於原型機階段。
