內地據報開始生產自主研發的DUV光刻機

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【Now新聞台】內地據報已開始生產自主研發的晶片製造主力設備。

科技新聞網站The Information報道，一家上海國資背景企業已開始生產自主研發的浸沒式深紫外光DUV光刻機，今年計劃生產約5部，明年則增加至生產約20部，並向中芯國際、華虹半導體和長鑫存儲等內地晶片製造商交付。

這種關鍵晶片製造設備一直由荷蘭晶片設備製造商ASML供應。DUV光刻機通常被稱為半導體行業的主力設備，技術上不及ASML更先進的極紫外EUV光刻機。ASML被禁止向中國出口EUV光刻機，公司向中國出售最先進DUV光刻機亦受到限制。

報道指，中國亦正研發國產EUV光刻機，不過目前仍處於原型機階段。